位相欠陥

【読み方】: いそうけっかん

【英語名】: Phase defect

説明

EUVマスクやEUVマスクブランクスにおいて、光を反射するための多層膜の周期を乱す欠陥（反射光の位相に影響する欠陥）。露光時の転写パターンに寸法変化が生じる要因となる。一方、異物等の反射を阻害する欠陥は振幅欠陥と呼ばれる（反射光の強度に影響する欠陥）

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