説明
光源に白色光を使用し、発生した干渉縞の強度分布を解析することで焦点高さを測定する装置。1nm程度の高さ分解能がある
真の使いやすさの追求。「計測アシスト機能」、「AI検査」をはじめとする新規ソフトウェアを搭載
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