反射分光膜厚測定

【読み方】: はんしゃぶんこうまくあつそくてい

【英語名】: Spectroscopic reflectometry film thickness measurement

説明

試料の分光測定から得られた反射スペクトルと光学モデルを使ったシミュレーションフィッティングにより膜厚を測定する手法

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