1960년 X선 텔레비전을 개발하는 유한회사 도쿄 ITV 연구소 창립
1962년 일본 자동 제어 주식회사 설립. X선 텔레비전뿐만 아니라 폭넓게 기술을 발전 시킴
1976년

LSI 포토 마스크 결함 검사 장비(세계 최초)를 개발∙출시

1977년

LSI 포토 마스크 결함 검사 장비로 일간공업신문사 「10대 신제품상」 수상

1979년 포토마스크 결함 검사 장비로 「과학기술 장관상」 수상
1980년 「중소기업 장관상」 수상
1982년 레티클 결함 검사 장비로 일간공업신문사 「10대 신제품상」 수상
1985년 주사형 컬러 레이저 현미경(세계 최초)을 개발∙출시
LSI 레티클 결함 검사 장비가 「과학기술 장관상」을 수상
1986년 일본 자동 제어 주식회사에서 레이저텍 주식회사로 사명 변경
캘리포니아주 산호세에 현지 법인 설립
1987년 FPD용 대형 포토마스크 결함 검사 장비 20MD 시리즈를 개발・출시
1990년 일본증권업협회에 주식 등록. 장외 거래 시작(종목 코드 6920)
1993년 액정용 컬러 필터 자동 결함 검사 장비 및 자동 수정 장비를 개발∙출시
위상 시프트량 측정 장비(세계 최초)를 개발∙출시
2000년 블랭크 마스크 결함 검사 장비 MAGICS 시리즈를 개발・출시
2001년 한국 서울에 현지 법인 설립
2002년 본사에서 ISO9001:2000 취득
2004년 JASDAQ 상장
2006년 2006년 6월 연결 결산 기준 매출 100억엔 달성

포토마스크 결함 검사 장비 MATRICS 시리즈를 개발・출시

2007년

Forbes Asia 「Best Under A Billion상」 수상

2008년

신요코하마에 연구개발 센터를 겸하는 본사 사옥을 건설, 이전

2009년

태양 전지 변환 효율 분포 측정기 MAP 시리즈를 개발∙출시

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비 SICA 개발∙출시

2010년 대만 신주에 현지 법인 설립

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비 TROIS 개발∙판매

2012년 도쿄 증권 거래소 시장 제 2부에 상장
ECCS 전기화학반응 가시화 Confocal 시스템 등 리튬 이온 전지 관련 장비를 개발・출시
리소그래피 프로세스 검사 장비 LX330 개발・출시
2013년 도쿄 증권 거래소 시장 제 1부에 상장
특허활용 우수 기업으로 특허청 장관상 수상
2014년 ECCS B310이 일간공업신문사 「10대 신제품상」을 수상
2017년 EUV광(파장13.5nm)을 이용한 「EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비」(세계최초)를 개발・발매
중국 상해에 현지 법인 설립