레이저텍은 반도체 관련 장비, 에너지・환경 관련 장비, FPD 관련 장비 및 레이저 현미경의 개발, 제조, 판매, 서비스를 제공하고 있습니다.

반도체 관련 장비

포토마스크 및 각종 웨이퍼 결함 검사・측정 장비

미세화와 더불어 신재료・신구조의 도입으로 점차 고도화가 진행되고 있는 반도체 제조 프로세스에 반드시 필요한 레이저텍의 검사・측정 장비. 레이저텍의 블랭크 마스크 검사 장비는 업계 표준 장비로서 입지를 확립하고 있습니다. 주력 제품인 마스크 결함 검사 장비, 블랭크 마스크 검사 장비와 더불어 리소그래피 프로세스 검사 장비와 막 두께 MURA 검사 장비 등 각종 웨이퍼 관련 검사・측정 장비를 다양하게 구비하고 있습니다.

에너지・환경 관련 장비

SiC 웨이퍼, 투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비

차세대 파워 반도체의 용도는 전력 시스템(스마트 그리드, 차세대 송전망), 철도, 사무 기기, 생활 가전 등 다방면에 걸쳐 있습니다. 파워 반도체 중에서도 「SiC 파워 반도체」는 전력 손실을 수십분의 일로 저감 가능한 에너지 절약 반도체로, 금후 실리콘을 대체할 수 있는 소재로 주목받고 있습니다. SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비는 기존에 검출 불가능 했던 기판 상의 각종 결정 결함과 나노 사이즈의 얕은 스크래치 등의 검출도 가능하기에 양산에도 적용 가능하며, 수율 향상에 공헌하고 있습니다.

FPD 관련 장비

FPD 포토마스크 결함 검사 장비

FPD 기술 혁신을 뒷받침하는 최첨단 FPD 포토마스크 검사 장비를 제공하고 있습니다. 레이저텍의 FPD 포토마스크 검사 장비는 업계 표준 검사 장비로서 입지를 확립하고 있습니다. FPD 포토마스크 패턴의 미세화에 대응한 검출 성능 향상으로, 포토마스크 품질 개선에 크게 기여 하고 있습니다.

레이저 현미경

하이브리드 레이저 현미경

다양한 소재 및 부품의 관찰과 분석에 위력을 발휘, 연구 개발 현장을 지원하고 있습니다
반도체 재료, 투명막, 코팅 재료, 무기/유기 재료, 각종 바이오계 시료, 금속 부품, 플라스틱 가공 부품 등, 폭 넓은 산업 분야에서 연구 개발, 품질 관리 현장을 지원하고 있습니다.
최신 모델 OPTELICS HYBRID는 Color Confocal(공초점) 광학계와 파장 405nm의 레이저광, 두 가지의 광학계를 한대에 탑재시킨 최신 모델 입니다. Color Confocal 광학계의 특징인 고정밀 풀 컬러・광시야 이미지와 레이저광의 특징인 고배율/고분해능 기능을 집약시켜 모든 관찰・측정 영역을 망라하고 있습니다.