레이저 현미경

레이저 현미경
OPTELICS® HYBRID

6가지 기능을 한 대에 통합하여 모든 관찰∙측정 영역을 망라

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초고온 관찰 레이저 현미경 시스템
VL2000DX-SVF17SP

본 장비는 주식회사 요네쿠라 제작소에서 판매하고 있습니다.당사는 초고온 관찰 레이저 현미경 시스템의 카메라 헤드를 OEM 공급하고 있습니다.

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에너지・환경 관련 제품

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS33

GaN on Si와 투명 웨이퍼 등을 고속으로 검사하는 고감도 결함 검사/리뷰 장비

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투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS32

다양한 투명 웨이퍼의 검사∙해석에 특화된 고감도 결함 검사/리뷰 장비

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SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA88

표면 검사 및 Photoluminescence(PL) 검사 장비

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SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA6X

SiC 웨이퍼 양산 공정에서의 출하・수입・프로세스 모니터링에 최적인 장비

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GaN Wafer 결함 검사/ 리뷰 설비
GALOIS 시리즈

GaN Wafer의 각종 결함을 보다 고속으로 검출하고, 높은 해상도로 관찰이 가능

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코팅 두께 스캐닝 시스템
TSS20

리튬 이온 전지의 전극 시트 코팅 공정 관리, 품질 향상에 최적인 검사기

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전기 화학 반응 가시화 공초점 시스템
ECCS B320

리튬 이온 전지의 충/방전 시의 전기 화학 반응을 In-situ로 가시화/정량화

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반도체 관련 장비

웨이퍼 Edge 검사 장비
EZ300

웨이퍼 Edge부의 수율 정량 관리 및 프로세스 이상의 해석

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웨이퍼 Bump 검사 측정 장비
BIM300

Bump의 고정밀도 3D 형상 측정, 웨이퍼 주변부의 품질 관리

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TSV 이면 연마 프로세스 측정 장비
BGM300

TSV 이면 연마 프로세스에서의 Si 두께, TSV 깊이,
Remaining Si 두께 측정 장비

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리소그래피 프로세스 검사 장비
LX530

최첨단 디바이스의 고감도 CDU 검사

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리소그래피 프로세스 검사 장비
LX330

최첨단 디바이스의 CDU 관리

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웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M5640

차세대 프로세스에 요구되는 미세 결함 검출을 실현한
고감도 결함 검사 리뷰 장비

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마스크 결함 검사 장비
MATRICS X8ULTRA 시리즈

디자인 노드 7nm/5nm 의 EUV 마스크 검사 시스템

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마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810EX 시리즈

디자인 노드 10nm/7nm에 대응 가능한 반도체 마스크 검사 장비

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마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810 시리즈

디자인 노드 14nm/20nm에 대응 가능한 반도체 디바이스용
포토마스크 결함 검사 장비

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포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700HiT 시리즈

디자인 노드 28nm에 대응 가능한 반도체 디바이스용
포토마스크 결함 검사 장비

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포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700 시리즈

디자인 노드 45nm에 대응 가능한 반도체 디바이스용
포토마스크 결함 검사 장비

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EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
ABICS E120

EUV 블랭크 마스크의 전사성 위상 결함 검출 및 결함 관리

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EUV 마스크 이면 검사/클리닝 장비
BASIC 시리즈

EUV 마스크 이면의 이물 검출∙높이 측정∙클리닝 기능을 1대에 통합

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블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS시리즈 M8650/M8651

설계 룰7nm 이후의 최첨단 반도체 포토마스크용 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비

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블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M8350/M8351

설계 룰 10nm 이하의 최첨단 반도체 포토마스크용 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비

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블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M6640S/M6641S

고감도∙ 빠른 Throughput을 모두 갖춘 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비

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위상차/투과율 측정 장비
MPM193EX

포토마스크의 세정∙펠리클 부착 후의 위상차∙투과율 측정이 가능

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위상 시프트량 측정 장비
MPM248

업계 표준기인 KrF용 위상 시프트량 측정 장비

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FPD 관련 장비

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G10 시리즈

10.5세대 대응 대형 포토마스크의 고속/고감도 결함 검사가 가능

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FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G8시리즈

미세화가 진행되는 FPD 포토마스크를 고감도로 검사

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CLIOS용 펠리클 검사 / 부착 시스템
71PA CM

10.5세대용 CLIOS와 연동하여 펠리클의 이물 검사부터 부착까지 자동으로 처리

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CLIOS용 펠리클 검사∙부착 시스템
51PA CM

FPD 포토마스크 결함 검사 장비와 인라인으로 연결하여
펠리클의 이물 검사에서 부착까지 자동으로 처리

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FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052

기존 장비 대비 검사 성능을 대폭 향상
고정밀 FPD 포토마스크 제조 수율 개선에 공헌

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위상차 측정 장비
MPM365gh

g, h, i선 3 파장의 위상차 ・투과율 측정 가능

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