마스크 관련(FPD)

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G10 시리즈

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G8시리즈

CLIOS용 펠리클 검사 / 부착 시스템
71PA CM

CLIOS용 펠리클 검사∙부착 시스템
51PA CM

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052

위상차 측정 장비
MPM365gh