B

전기 화학 반응 가시화 공초점 시스템
ECCS B320

웨이퍼 Bump 검사 측정 장비
BIM300

TSV 이면 연마 프로세스 측정 장비
BGM300

EUV 마스크 이면 검사/클리닝 장비
BASIC 시리즈

E

웨이퍼 Edge 검사 장비
EZ300

EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
ABICS E120

G

GaN Wafer 결함 검사/ 리뷰 설비
GALOIS 시리즈

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G10 시리즈

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G8시리즈

H

레이저 현미경
OPTELICS® HYBRID

L

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX530

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX330

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052

M

막 두께 MURA 검사 장비
MR300

웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M5640

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS시리즈 M8650/M8651

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M8350/M8351

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M6640S/M6641S

위상차/투과율 측정 장비
MPM193EX

위상 시프트량 측정 장비
MPM248

위상차 측정 장비
MPM365gh

P

CLIOS용 펠리클 검사 / 부착 시스템
71PA CM

CLIOS용 펠리클 검사∙부착 시스템
51PA CM

S

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA88

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA6X

T

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS33

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS32

코팅 두께 스캐닝 시스템
TSS20

V

초고온 관찰 레이저 현미경 시스템
VL2000DX-SVF17SP

X

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810EX 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700HiT 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700 시리즈

1

EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
ABICS E120

위상차/투과율 측정 장비
MPM193EX

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G10 시리즈

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052

2

초고온 관찰 레이저 현미경 시스템
VL2000DX-SVF17SP

코팅 두께 스캐닝 시스템
TSS20

위상 시프트량 측정 장비
MPM248

3

웨이퍼 Edge 검사 장비
EZ300

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS33

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS32

전기 화학 반응 가시화 공초점 시스템
ECCS B320

웨이퍼 Bump 검사 측정 장비
BIM300

TSV 이면 연마 프로세스 측정 장비
BGM300

막 두께 MURA 검사 장비
MR300

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX330

위상차 측정 장비
MPM365gh

5

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX530

웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M5640

CLIOS용 펠리클 검사∙부착 시스템
51PA CM

6

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA6X

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M6640S/M6641S

7

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700HiT 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700 시리즈

CLIOS용 펠리클 검사 / 부착 시스템
71PA CM

8

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810EX 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810 시리즈

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS시리즈 M8650/M8651

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M8350/M8351

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G8시리즈

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052