B

전기 화학 반응 가시화 공초점 시스템
ECCS B320

웨이퍼 Bump 검사 측정 장비
BIM300

TSV 이면 연마 프로세스 측정 장비
BGM300

EUV 마스크 이면 검사/클리닝 장비
BASIC 시리즈

E

웨이퍼 Edge 검사 장비
EZ300

EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
ABICS E120

G

GaN Wafer 결함 검사/ 리뷰 설비
GALOIS 시리즈

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G10 시리즈

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G8시리즈

H

레이저 현미경
OPTELICS® HYBRID

L

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX530

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX330

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052

M

웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M5640

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS시리즈 M8650/M8651

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M8350/M8351

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M6640S/M6641S

위상차/투과율 측정 장비
MPM193EX

위상 시프트량 측정 장비
MPM248

위상차 측정 장비
MPM365gh

P

CLIOS용 펠리클 검사 / 부착 시스템
71PA CM

CLIOS용 펠리클 검사∙부착 시스템
51PA CM

S

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA88

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA6X

T

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS33

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS32

코팅 두께 스캐닝 시스템
TSS20

V

초고온 관찰 레이저 현미경 시스템
VL2000DX-SVF17SP

X

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X8ULTRA 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810EX 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700HiT 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700 시리즈

1

EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
ABICS E120

위상차/투과율 측정 장비
MPM193EX

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G10 시리즈

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052

2

초고온 관찰 레이저 현미경 시스템
VL2000DX-SVF17SP

코팅 두께 스캐닝 시스템
TSS20

위상 시프트량 측정 장비
MPM248

3

웨이퍼 Edge 검사 장비
EZ300

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS33

투명 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
TROIS32

전기 화학 반응 가시화 공초점 시스템
ECCS B320

웨이퍼 Bump 검사 측정 장비
BIM300

TSV 이면 연마 프로세스 측정 장비
BGM300

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX330

위상차 측정 장비
MPM365gh

5

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX530

웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M5640

CLIOS용 펠리클 검사∙부착 시스템
51PA CM

6

SiC 웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
SICA6X

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M6640S/M6641S

7

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700HiT 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700 시리즈

CLIOS용 펠리클 검사 / 부착 시스템
71PA CM

8

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X8ULTRA 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810EX 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810 시리즈

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS시리즈 M8650/M8651

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M8350/M8351

FPD 포토마스크 결함 검사 장비
CLIOS G8시리즈

FPD 블랭크 마스크 결함 검사 장비
LBIS 시리즈 L852/L1052