웨이퍼 관련

웨이퍼 Edge 검사 장비
EZ300

웨이퍼 Bump 검사 측정 장비
BIM300

TSV 이면 연마 프로세스 측정 장비
BGM300

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX530

리소그래피 프로세스 검사 장비
LX330

막 두께 MURA 검사 장비
MR300

웨이퍼 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M5640

마스크 관련(반도체)

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810EX 시리즈

마스크 결함 검사 장비
MATRICS X810 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700HiT 시리즈

포토마스크 결함 검사 장비
MATRICS X700 시리즈

EUV 블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
ABICS E120

EUV 마스크 이면 검사/클리닝 장비
BASIC 시리즈

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS시리즈 M8650/M8651

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M8350/M8351

블랭크 마스크 결함 검사/리뷰 장비
MAGICS 시리즈 M6640S/M6641S

위상차/투과율 측정 장비
MPM193EX

위상 시프트량 측정 장비
MPM248