SEMICON JAPAN 2021｜レーザーテック

SEMICON JAPAN 2021
レーザーテックブースのご案内

2021年12月15日（水）～17日（金）東京ビッグサイトにおいて開催されます「SEMICON JAPAN 2021 Hybrid」に出展いたします。
当社は、世界で初めてEUV光を用いたアクティニックEUVパターンマスク検査装置の製品化に成功しました。本展示会では、EUVリソグラフィ全般の幅広い製品ラインアップおよび主力のマスク、マスクブランクス欠陥検査装置、ウェハ関連検査装置をご紹介いたします。またハイブリッドレーザー顕微鏡の実機デモを行い、R&D（標準機）から量産試作（特殊ステージ仕様）、量産ライン（プロセス機）まで、測定ニーズに合わせた顕微鏡のカスタムをご提案いたします。
その他検査、計測に関するご相談も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。