SEMICON JAPAN 2021
レーザーテックブースのご案内

2021年12月15日(水)〜17日(金)東京ビッグサイトにおいて開催されます「SEMICON JAPAN 2021 Hybrid」に出展いたします。
当社は、世界で初めてEUV光を用いたアクティニックEUVパターンマスク検査装置の製品化に成功しました。本展示会では、EUVリソグラフィ全般の幅広い製品ラインアップおよび主力のマスク、マスクブランクス欠陥検査装置、ウェハ関連検査装置をご紹介いたします。またハイブリッドレーザー顕微鏡の実機デモを行い、R&D(標準機)から量産試作(特殊ステージ仕様)、量産ライン(プロセス機)まで、測定ニーズに合わせた顕微鏡のカスタムをご提案いたします。
その他検査、計測に関するご相談も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。

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