FPDフォトマスク欠陥検査装置とインラインで連結しペリクルの異物検査から貼付けまで自動処理

特長

  • ペリクルの検査、仮貼りから最終貼り付けを1台で実現。
  • CLIOSと連結することによりマスク、ペリクルへの異物の付着を大幅に低減。
  • イオナイザ設置により、異物付着を防ぐことでクリーンな環境を保ち、ペリクルの貼り直しによる生産性の低下を防ぎます。
  • ペリクルをクランプする冶具は、サイズ別にストッカー内に収納されており、様々なサイズのペリクルに対応可能です。
  • 輸送ケース内のペリクルを取出す際、クランプ部で引張り力を検知することにより、無理な力を与えずに自動で離型紙を剥がすことが可能です。
  • ペリクルを貼付ける際、4ヶ所のCCDカメラでマスク端とペリクル端の間隔を測定しアライメント操作可能です。
  • ペリクル異物自動検査、レビュー機能、Air Blowして異物を除去する機能および、表裏反転機能などを搭載し、高い操作性を実現します。
  • 検出した異物を明視野または暗視野で観察でき、また異物の画像データも保存可能なため、良否判定だけでなく品質管理や不良解析にも有効です。
  • マスクにペリクルを仮貼り後、近設のプレス装置に搬送します。プレス装置には大気圧力を利用してプレスする吸着パッドが等間隔に設置されており、一定の力と時間でプレスして均一に本貼りすることができます。

用途


  • FPDフォトマスク製造工程における、ペリクル自動搬送及び貼付け

  • 反射光によるペリクル上の異物検査(ペリクルの品質確認検査)

仕様

ペリクルサイズ 1,146mm×1,366mm (1,220mm×1,400mmマスク用ペリクルサイズ)
検査速度 ≒50mm/sec
検査幅 =180mm
散乱光検出器 光ファイバーカップルPMT
*光ファイバーカップリング.フォトマルチフライヤチューブ
検出異物サイズ ≒10μm
検査範囲 ペリクル枠より5mm内側のペリクル面

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