微細化の進むFPDフォトマスクを高感度で検査

特長

  • 短波長光源及び専用設計の対物レンズを含む最新の光学系採用により、画像解像度を大幅に向上し、高い検出感度を実現(最高検出感度0.35μm。当社従来モデル0.75μm)
  • 新システムの開発により、データベース検査の分解能と展開処理能力を大幅に向上し、Die to Die 検査と同等の性能を発揮
  • 独自のアルゴリズムによるデータベースのプロファイルマッチング機能により、最適なデータベース画像を自動生成
  • 新型TDIセンサー、高速化した処理系、及びダブルデータベース検査(オプション)等により、検査時間も短縮
  • レビュー専用顕微鏡を装備し、フルカラーでのレビューを実現
  • 装置内でのペリクル貼り付けも可能(オプション)

用途

  • 高精細FPDフォトマスクの出荷前品質検査
  • 高精細FPDフォトマスクの受入検査および定期的な品質検査

仕様

検査面 フォトマスクのパターン面
マスクサイズ 800mm (W) x 520mm(H)~1,500mm(W) x 1,300mm(H)、
8~15mm(t)
(マスクアダプタの使用により、800mm x 520mm x 8mm以下のサイズにも対応可能)
検出感度 0.35μm (対物レンズ:20倍、速度:Slow)
(検査モード:Die to Die/Die to Database時)
単位面積当り
検査時間
0.76 秒/cm2(対物レンズ20倍、速度:Fast)
(検査モード:Die to Die/Die to Database時)
データベース 最小0.1μm (描画単位)
本体外形寸法 5,000mm(W) x 1,800mm(D) x 2,600mm(H)
重量 約7,000kg

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