g,h,i線の3波長の位相差・透過率測定が可能に

特長

  • 半導体用位相シフトマスク測定の業界標準機
  • ステッパの露光波長と同じ波長で位相シフト量を直接に測定
  • 最小2.5µm幅の位相量が測定可能
  • 床振動や装置内部の気流の乱れに対する高い安定性を実現

用途


  • 位相シフトマスクの位相差測定

  • ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定

仕様

測定波長 MPM365gh :365nm (i線) / 436nm (g線) / 405nm (h線)
MPM365g :365nm (i線) / 436nm (g線)
MPM365   :365nm (i線)
測定再現性 位相量測定(3σ) ≦ 0.5°
透過率測定(3σ) ≦ 0.2 %
マスクサイズ 6インチ
装置サイズ 幅930mm × 奥行き780mm × 高さ1,330mm

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