マイクロメートル / µm(ミクロン)

  • 長さの単位
  • 1,000分の1ミリメートル

マイクロマシン / MEMS(メムス)

  • Micro Electro Mechanical Systems
  • 三次元微小電子機械システム(マイクロシステム、マイクロマシン)

マウンティング / Mounting

チップを基板に接着すること

マクロ検査 / Macro Inspection

ウエハに光をあててその反射光情報から欠陥を検出する検査のこと。高倍率光学系を用いて微小欠陥検出を行なうミクロ検査に対して、マクロ検査と呼ばれる

マジックス / MAGICS

  • Multiple image Acquisition for Giga-bit pattern Inspection with Confocal System
  • ウェハまたはマスクのレーザーテック社製ブランクス検査装置の総称

マスクサブストレート / Mask Substrate

  • マスクブランクスを製造する前のガラス基板
  • 半導体デバイス用は、152mm角/6.3mm厚の石英ガラスが主流である

マスク洗浄 / Mask Cleaning

微細加工プロセスなどのマスク製造工程後にマスク表面に付着する何らかの汚れ(微小な粒子や分子レベルの汚染物質)を洗浄すること。またHazeを除去するために行われる

マスクデータプレパレーション / MDP

  • フォトマスク上に形成させるパターンのデータ生成などの工程
  • 最先端のフォトマスクでは、複雑なOPCが必要なため、MDPコストは増大している

マスクレスリソグラフィー / ML2

  • Maskless Lithography
  • フォトマスクを用いずに電子回路パターンを直接ウェハ上に描画する技術
  • 一般には電子ビームによる直接描画方式において電子ビームの本数を増やしてスループットを向上させる技術

モリブデン・シリサイド / MoSi

フォトマスクの遮光膜として使われる材質の一つ

モールド / Molding

パッケージ封入すること。Chipをほこりや水分等から保護する役割。樹脂が用いられる