ダイシング / Dicing

薄い刃(ブレード)を使用し、ウェハをChipの大きさに切り出す事。最近はレーザーも使用される場合がある

ダイ比較検査 / Die to Die

隣接するチップ(ダイ)とチップ(ダイ)を比較して欠陥を検出する方法

太陽光スペクトル / Sunlight Spectrum

太陽光に含まれる様々な波長の光を光強度の違いにより分布として表したもの

太陽電池アレイ / Solar Cell Array

太陽電池モジュールを最適な配置で屋外に並べて据え付けた太陽電池モジュール群

太陽電池セル / Solar Cell Unit

太陽電池の基本単位で、太陽電池素子そのものをセルと呼ぶ

太陽電池 / Solar Cell

光を電力に変える半導体素子のこと。光から電力の変換には半導体の性質を応用している

太陽電池モジュール / A Solar Module

太陽電池セルを集めて構成したもの

多結晶太陽電池 / Poly Silicon Solar Cell

基材に多結晶を使用する太陽電池。効率は単結晶よりも低いが安価に作成できる

多接合太陽電池 / Multi Junction Solar Cell

バンドギャップの異なる太陽電池を積み重ねたもの

単結晶 / Single Crystal

結晶は原子または分子が一定周期性をもって配列し空間格子を形成している構造物。結晶全体にわたって周期性が保持されているとき、それを単結晶という

単結晶太陽電池 / Single Crystal Solar Cell

基材に単結晶を使用する太陽電池。高価だが、結晶の品質が非常に高いため効率の良い太陽電池を作成することが可能

短絡電流 / Short-Circuit Current

太陽電池にかかる電圧がゼロとなるときの最大電流。入射光強度に比例して増加する

チップ / Chip

半導体をもとにして作られた集積回路

超解像技術 / RET

  • Resolution Enhancement Techniques
  • PSMやOPCなどを適用したマスクやImmersionを駆使してパターン転写の解像力を高める技術

ティーエフティー / TFT

  • Thin Film Transistor
  • 液晶パネルにおける各画素の液晶を駆動するためにガラス基板上に形成した薄膜状のトランジスタ

ティーシーオー / TCO

電気を通す透明な酸化物材料。電極として用いられることが多い

ディーユーヴイ / DUV

Deep Ultra Violetの略語で、波長200nm程度以下の光を表す

テクスチャー構造 / Texture Structure

表面反射を減らして、光吸収量を増やすために設ける凹凸

データ比較検査 / Die to Database

チップ(ダイ)とパターンの設計データを比較して欠陥を検出する方法

デフォーカス / Defocus

光学系の結像面が受光センサ位置から光軸方向にズレている状態。いわゆるピンぼけ状態のこと

電子ビーム / EB

  • Electron Beam
  • 電子ビームを用いた回路パターンの描画(露光)装置など

ドーズ量 / Dose

単位面積当たりの電子やイオンの注入量

ドープ剤(ドーパント) / Dopant

不純物

トレンチ(溝) / Trench

シリコン基板上に作られた溝パターンのことで、特性を改善する技術の一つ