「ピントが合った時に反射光の輝度が最大になる」というコンフォーカル光学系の原理から、サンプルを焦点方向に動かしながら連続的に画像を取り込む(図1)。

効果1

各画素の最大輝度情報を記録することで、全面に焦点の合った画像が得られる(図2)。

効果2

各画素の最大輝度を示したZ軸の位置情報を記録することで各画素の高さの情報を取得。取得した高さデータから形状測定、粗さ測定等の三次元計測が可能(図3)。

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レーザーマイクロスコープ
OPTELICS® HYBRID

6つの機能を1台で高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅

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