B

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム
ECCS B320

ウェハバンプ検査測定装置
BIM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置
BGM300

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置
BASICシリーズ

E

ウェハエッジ検査装置
EZ300

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS E120

G

FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G821

H

レーザーマイクロスコープ
OPTELICS® HYBRID

L

リソグラフィプロセス検査装置
LX530

リソグラフィプロセス検査装置
LX330

FPDフォトマスク欠陥検査装置
LIシリーズ LI712

FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBIS Series L852/L1052

M

卓上型太陽電池変換効率分布測定機  
MAPシリーズ MP15

膜厚ムラ検査装置  
MR300

ウェハ欠陥検査/レビュー装置 
MAGICSシリーズ M5640

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6610

位相差/透過率測定装置 
MPM193EX

位相シフト量測定装置 
MPM248

DUVマスクレビューステーション 
MRS248

位相差測定装置
MPM365gh

P

LI712用ペリクル検査・貼り付けシステム 
71PA/71PP

CLIOS用ペリクル検査・貼り付けシステム 
51PA

S

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置  
SICA88

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置   
SICA6X

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置   
SICA61

太陽電池分光感度分布測定機
MAPシリーズ SR15

T

塗工ムラスキャニングシステム
TSS20

透明ウェハ欠陥検査/レビュー装置  
TROIS33

透明ウェハ欠陥検査/レビュー装置   
TROIS32

V

超高温観察レーザー顕微鏡システム
VL2000DX-SVF17SP

X

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700HiTシリーズ

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700シリーズ

1

卓上型太陽電池変換効率分布測定機  
MAPシリーズ MP15

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS E120

位相差/透過率測定装置 
MPM193EX

FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBIS Series L852/L1052

2

塗工ムラスキャニングシステム
TSS20

超高温観察レーザー顕微鏡システム
VL2000DX-SVF17SP

位相シフト量測定装置 
MPM248

DUVマスクレビューステーション 
MRS248

3

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム
ECCS B320

ウェハエッジ検査装置
EZ300

ウェハバンプ検査測定装置
BIM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置
BGM300

リソグラフィプロセス検査装置
LX330

膜厚ムラ検査装置  
MR300

透明ウェハ欠陥検査/レビュー装置  
TROIS33

透明ウェハ欠陥検査/レビュー装置   
TROIS32

位相差測定装置
MPM365gh

5

リソグラフィプロセス検査装置
LX530

ウェハ欠陥検査/レビュー装置 
MAGICSシリーズ M5640

CLIOS用ペリクル検査・貼り付けシステム 
51PA

6

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6610

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置   
SICA6X

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置   
SICA61

7

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700HiTシリーズ

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700シリーズ

FPDフォトマスク欠陥検査装置
LIシリーズ LI712

LI712用ペリクル検査・貼り付けシステム 
71PA/71PP

8

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G821

FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBIS Series L852/L1052