高感度・高スループットを両立したマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

特長

  • 次世代高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置
  • 既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、微小欠陥に特化した新欠陥検出回路を搭載
  • MoSi膜やCr膜上のピンホール欠陥の感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
  • カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRP、及びEUV向けDual podまで対応が可能
  • M6641Sは、Dense Scan Mode (より高感度な検査モード)とLine & Spaceのパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効

用途


  • Qzサブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、EUVマスクブランク(マルチレイヤー層、アブゾーバー層)、レジスト塗布済みマスクブランクスの検査
  • 欠陥のレビュー

仕様

検査光源波長 532nm
検出感度 φ50nm (クォーツ基板上のPSL, ノーマルモード)
検査時間 12分/枚(ノーマルモード、検査エリア142mm x 142mm)
対応基板サイズ 6025

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