マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM9650/M9651
設計ルール5nm以降の最先端半導体マスク用ブランクス欠陥検査/レビュー装置
関連ニュース
電子デバイス産業新聞主催 半導体・オブ・ザ・イヤー2019
半導体製造装置部門 「グランプリ」を受賞
特長
- 次世代高品質マスクブランクス欠陥検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置
- 既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術をベースに、検査光学系の刷新とともに、弊社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用
- サブストレートのみならず、最先端半導体用マスクブランクス各層における欠陥検出感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
- カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRP、およびEUVL向けDual podまで対応が可能
- M9651は、ライン & スペースのモニターパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効
用途
- EUVマスクブランクス、光マスクブランクス、サブストレートの欠陥検査
- 欠陥レビュー
- 欠陥サイジング
