位相差/透過率測定装置

MPM193EX

MPM193EX

フォトマスクの洗浄・ペリクル貼り付け後に位相差・透過率測定が可能に

関連ニュース

特長

  • 業界標準機となったMPM193位相差測定装置の後継機として、測定性能を大幅に向上させました。
  • ペリクル付きマスクの測定が可能です。
  • 従来モデルと比べ自動検査機能が大きく改善されています。
  • 1μm以下の微小領域での位相差測定を可能としました。
  • オートローダーおよびケミカルフィルター付きミニエンバイロメントを標準装備します。

用途

  • 位相シフトマスクの位相差測定
  • ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定
  • マスク欠陥レビュー(オプション)

仕様

測定波長 193nm
測定再現性 位相差測定:0.2°(3σ)、透過率測定:0.04% (3σ)
基板サイズ 6025
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※平日9:00~17:00まで受付

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