フォトマスクの洗浄・ペリクル貼り付け後に位相差・透過率測定が可能に

特長

  • 業界標準機となったMPM193位相差測定装置の後継機として、測定性能を大幅に向上させました。
  • ペリクル付きマスクの測定が可能です。
  • 従来モデルと比べ自動検査機能が大きく改善されています。
  • 1μm以下の微小領域での位相差測定を可能としました。
  • オートローダー及びケミカルフィルター付きミニエンバイロメントを標準装備します。

用途


  • 位相シフトマスクの位相差測定

  • ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定

  • マスク欠陥レビュー(オプション)

仕様

測定波長 193nm
測定再現性 位相差測定: 0.2°(3σ)、透過率測定: 0.04% (3σ)
基板サイズ 6025

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