業界標準機のKrF用位相シフト量測定装置

特長

  • 業界標準機となったKrF (248nm) 用位相シフト量測定装置です。
  • ステッパの露光波長と同じ波長で位相シフト量を直接に測定します。
  • ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定もできます。
  • 床振動や装置内部の気流の乱れに対する高い安定性を実現しています。

用途


  • 位相シフトマスクの位相差測定

  • ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定

仕様

基板サイズ 6025
測定波長 248nm
測定再現性 位相差測定: 0.5°(3σ)、透過率測定: 0.2% (3σ)

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