最先端デバイスの高感度CDU検査

特長

  • 高S/N撮像信号により高感度CD測定実現
  • 高速撮像のためウェハ全面測定が可能
  • 下地パターンの影響をキャンセルできる独自の光学系
  • 業界初のCDU検査・分類機能搭載

用途

  • リソグラフィ工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理
  • エッチング工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理
  • ウェハ外周部CDのSPC管理

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