イメージセンサのレジスト塗布、カラーフィルタ・レンズ成形、BSI向けウエハ薄化工程における膜厚・表面形状変化高感度検査装置

特長

  • 高解像光学系により、イメージセンサの品質を左右する微小な表面形状変化を検出可能
  • 下地の影響を受けにくいため、表面層の情報を正確に取得可能
  • In Line における全数検査が可能

    用途

    • レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均一性検査 マイクロレンズの形状変化検査
    • 裏面照射型CMOSイメージセンサの裏面薄化プロセスにおける表面形状検査
    • 微小欠陥、異物、スクラッチ等の検査

    仕様

    対応基板サイズ

    φ200mm、300mm ウェハ

    解像度

    50μm/pixel

    スループット

    70WPH(300mmウェハ)

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