コンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置
OPTELICS AI²
自動欠陥検査 → 高倍率欠陥レビュー → 3次元形状測定までシームレスに1台で実現
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特長
- さまざまな材質の半導体ウェハを自動欠陥検査から高倍率レビュー、形状測定まで1台で対応。R&Dから量産まで各フェーズで活躍
- 高速検査：サブミクロンの感度で、3インチウェハを15分で全面検査可能
- 高倍率レビュー：対物レンズの切り替えにより、高倍率3次元形状測定が可能
- Deep Learningによる高精度な画像分類を実現。パターン付き基板検査や特定欠陥種の検査が可能
- 化合物半導体やフィルムなど、透明サンプルにおいても、裏面反射の影響を受けずに検査、高倍率レビュー、形状測定が可能
- ハードウェアからソフトウェアまでシステム1式をレーザーテックが提供するため、お客さまのご要望に合わせたカスタマイズとシステム全体へのサポートが可能
用途
- さまざまな材質の半導体ウェハの高速自動欠陥検査
- 欠陥レビュー
- 欠陥形状測定
- 各製造工程での欠陥追跡
仕様
| 検査時間（3"ウェハ） | 15分 |
|---|---|
| 検査対象 | 各種ウェハ（Si、SiC、GaN、InP、AIN、ガラスなど）、ガラス基板、フィルムなど |
| 高速自動欠陥検査 | コンフォーカル光学系および微分干渉 |
| 高倍率レビュー | コンフォーカル光学系 |
| 3次元形状測定 |
