高感度ウェハエッジ検査装置
CIELシリーズ
従来機では対応できなかったウェハエッジ・ベベル部の欠陥を高精度に分類
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特長
- 従来検出・分類できなかった微小欠陥の特定が可能
- 高スループットモードを搭載。運用用途に応じて対応可能
- 3D測定機能
用途
- 半導体デバイス工程におけるウェハエッジ・ベベルのプロセスモニタリング・フィードバック
- 歩留まりに直結する欠陥の抽出
- 3D測定によるプロセス改善
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