EUVマスク裏面検査/クリーニング装置
BASICシリーズ
EUVマスク裏面の異物検出・高さ測定・クリーニング機能を1台に統合
関連ニュース
電子デバイス産業新聞主催 半導体・オブ・ザ・イヤー2013
半導体製造装置部門 「グランプリ」受賞
特長
- EUVマスク裏面の異物検出に最適化した検査光学系
- EUV露光に影響を及ぼす異物の高さ測定機能
- EUV露光に影響を及ぼす異物のクリーニング（除去）機能
- 発塵リスクの無いデュアルポッドハンドリング方式
- パターンにダメージを与えないスキャン方式
- EUV量産において適用可能な検査時間
- OHT(Overhead Hoist Transport)と連動した全自動検査
- 電源・制御系統を本体に内蔵したオ―ルインワン設計によるコンパクト化
用途
- ウェハファブにおけるEUVマスク裏面の定期管理・受け入れ検査
- EUVマスク裏面の異物の検出・高さ測定・クリーニング
- マスクメーカ、ブランクスメーカにおける出荷検査
仕様
| 装置本体サイズ | 1,550 (W) x 2,955 (D) x 2,400 (H) |
|---|---|
| 検査対象マスク | EUV masks (6 inch) |
| その他 | お客さまのニーズに合わせて、BASICシリーズの検査、測定およびクリーニング機能の最適な組合せをご提案いたします。詳しくはお問い合わせください。 |
