近年のFPD業界では、スマートフォンに代表される高精細ディスプレイや、4K・8K高解像度テレビへの対応が急務となっており、大型フォトマスクのパターンの微細化が急速に進展しています。
それに伴い、フォトマスク製造に必要な大型マスクブランクスの品質管理が従来の目視検査では限界に達し、高感度な自動欠陥検査および欠陥種・サイズ分類まで行う品質管理の必要性が高まっています。

レーザーテックでは、こうしたマスクブランクスでの高感度検査ニーズに対応すべく、2008年に発表したLB79の後継機種として、新製品LBISシリーズを製品化致しました。光学系の刷新により、高感度化・高スループット化を実現し、さらに自動欠陥レビューと自動欠陥分類機能を標準機能としました。
LBISの適用によって、マスクブランクスの品質向上およびマスクの歩留り改善に貢献します。