ウェハ関連

ウェハエッジ検査装置
EZ300

ウェハバンプ検査測定装置
BIM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置
BGM300

リソグラフィプロセス検査装置
LX530

リソグラフィプロセス検査装置
LX330

膜厚ムラ検査装置  
MR300

ウェハ欠陥検査/レビュー装置 
MAGICSシリーズ M5640

マスク関連(半導体)

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700HiTシリーズ

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700シリーズ

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS E120

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置
BASICシリーズ

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6610

位相差/透過率測定装置 
MPM193EX

位相シフト量測定装置 
MPM248

DUVマスクレビューステーション 
MRS248