マスク検査装置

MATRICS X9ULTRAシリーズ

MATRICS X9ULTRAシリーズ

テクノロジーノード3nm以降のペリクル非装着EUVマスクに特化したマスク検査システム

関連ニュース

特長

  • テクノロジーノード3nm以降のペリクル非装着EUVマスクに特化したマスク検査システム
  • ハイパワー193nmレーザーおよび高NA対物レンズの搭載により、微小異物検出性能を向上

用途

  • ウェハファブにおけるペリクル非装着EUVマスクの品質確認検査
  • EUVマスクの製造工程における、微小異物検査

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