アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

ACTIS A200HiTシリーズ

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ACTIS A200HiTシリーズ

EUVマスク転写性欠陥を高速・高感度で捉える ウェハファブ向けACTISハイスループットモデル

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特長

  • ACTIS A150の3倍の検査速度を達成
  • ウェハファブにてEUVマスク運用中に発生する転写性欠陥を検出

用途

  • ウェハファブにおけるEUVマスクの受入検査
  • ウェハファブにおけるEUVマスクの定期的な品質確認検査

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