ニュース
製品
企業
サステナビリティ
IR
採用情報
お問い合わせ
English
検索
メニュー
検索
ニュース
製品
製品トップ
製品検索
製品一覧
半導体
FPD
顕微鏡
用語解説
展示会出展情報
企業
企業トップ
トップメッセージ
経営理念
事業内容・コア技術
会社概要
アクセス
役員紹介
コーポレート・ガバナンス
沿革
拠点
サステナビリティ
サステナビリティトップ
社長メッセージ
価値創造ストーリー
マテリアリティ(重要課題)
環境
人的資本・人権
労働安全衛生
サプライチェーンに関する取り組み
技術と品質
コーポレート・ガバナンス
コンプライアンス
IR
IRトップ
経営方針
財務ハイライト
IR資料室
株式情報
個人投資家の皆さまへ
よくあるご質問
IRカレンダー
IRニュース
IRメール配信サービス
IRサイトマップ
採用情報
お問い合わせ
English
サイトマップ
サイトのご利用について
プライバシー・ポリシー
サイトの使い方
EUVペリクル異物検査装置
PELMISシリーズ
お問い合わせ・資料請求
特長
用途
EUVペリクルの欠陥を高性能に分類
関連ニュース
2024年12月02日
新製品 EUVペリクル異物検査装置 PELMISシリーズを発表
特長
ペリクル付きEUVマスクのペリクル面に付着する異物の検査および表裏自動判別機能
ペリクル面に加え、マスクパターン面およびパターン外周部の異物検査にも対応
ダイ比較検査、マスクtoマスク比較検査も可能
用途
ウェハファブにおけるEUVペリクルおよびマスクパターン面の異物検査および定期的な品質管理検査
マスクショップにおけるEUVマスク製造工程での異物検査
製品に関するお問い合わせ・資料請求
お問い合わせはこちら
045-478-7337
※平日9:00~17:00まで受付
ACTIS A300シリーズ
ACTIS A150
ACTIS A200HiTシリーズ
ABICSシリーズ E320
ABICSシリーズ E120
MATRICS X9ULTRAシリーズ
MATRICS X8ULTRAシリーズ
MAGICSシリーズM9750/M9751
MAGICSシリーズ M9650/M9651
BASICシリーズ
MZ100
PELMISシリーズ
MATRICS X810EXシリーズ
MATRICS X800LITEシリーズ
MAGICSシリーズ M6750/M6751
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S
MPM193EX
MPM248
SICA108
SICA88
GALOIS211
CIRIUSシリーズ
LXシリーズ
CIELシリーズ
EZシリーズ
VIANCAシリーズ
BGMシリーズ
MAGICSシリーズ M5640
BIMシリーズ
CLIOS G10シリーズ
CLIOS G834Advance
CLIOS G800LITE
71PA CM
51PA CM
LBISシリーズ L852/L1052
OPTELICS® HYBRID+
OPTELICS AI²
OPTELICS IR
ECCS B320
VL3000DX-SVF18SP
製品を探す
検索
製品一覧
半導体
FPD
顕微鏡
製品関連情報
用語解説
レーザーテックの製品や技術に関する用語解説を掲載しています。ご活用ください。
展示会出展情報
レーザーテックが出展を予定している展示会情報を掲載しています。
トップ
製品
半導体
PELMISシリーズ