位相差/透過率測定装置
MPM193シリーズ
業界標準機のArF用位相シフト量測定装置
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特長
- 業界標準機となったArF（193nm） 用位相シフト量測定装置です。
- ステッパの露光波長と同じ波長で位相シフト量を直接測定します。
- ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定もできます。
- 床振動や装置内部の気流の乱れに対する高い安定性を実現しています。
用途
- 位相シフトマスクの位相差測定
- ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定
仕様
MPM193Ⅱ（ランプ光源）
| 測定再現性 | 位相差測定：0.5°（3σ） |
|---|---|
| 透過率測定：0.2%（3σ） |
MPM193EX（レーザー光源）
| 測定再現性 | 位相差測定：0.2°（3σ） |
|---|---|
| 透過率測定：0.04%（3σ） |
