FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G800LITE
FPD用ミドルエンドフォトマスクの効率的な検査を実現
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特長
- i線光学系（弊社FPDフォトマスク欠陥検査装置で最短波長）を採用し、単眼・単倍率のDB専用装置
- 新型TDIと新開発AFを採用し、最高検出感度0.6µmを実現
- 単眼システムの装置であっても、G8マスクサイズ全面検査を約3時間で実現
- 欠陥画像の自動保存機能を搭載し、オフラインでのレビューを実現
- DB専用機のため、パターンのレイアウトに依存する事なく、マスク全面の高感度検査が可能
用途
- FPD用ミドルエンドマスクの製造工程での欠陥検査および出荷前の品質検査
仕様
| 対応可能マスクサイズ | 800mm（W）×520mm（H）～1,550mm（W）×1,300mm（H） |
|---|---|
| 検出感度 | 0.6µm ※弊社基準マスクで保証 |
| スキャン速度 | 125mm/秒 |
| 本体外形寸法 | 5,000mm（W）×1,815mm（D）×3,000mm（H） |
| 重量 | 約8,400kg（本体部分のみ、ラック含まず） |
