特長

• 高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した欠陥検査装置
• 既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、微小欠陥に特化した新欠陥検出回路を搭載
• MoSi膜やCr膜上のピンホール欠陥の感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
• M6641Sは、Dense Scan Mode （より高感度な検査モード)とLine & Spaceのパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効
• カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRPなどに対応が可能

用途

• Qzサブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、レジスト塗布済みマスクブランクスの検査
• 欠陥のレビュー

仕様

検査光源波長	532nm
検出感度	φ50nm（クォーツ基板上のPSL、ノーマルモード）
検査時間	12分/枚（ノーマルモード、検査エリア142mm×142mm）
対応基板サイズ	6025

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