レーザーテックは2019年に、世界初のアクティニック^※EUVパターンマスク欠陥検査装置ACTIS A150をリリースいたしました。本製品は市場で高い評価を得ており、お客さまのマスク品質管理に貢献しております。

ACTIS A200HiTシリーズは、光学設計の最適化と検査システムを刷新し、スループットを大幅に向上させるとともに、ウェハファブで発生する全ての転写性欠陥を検出する感度を実現しました。マスク検査コストの低減とより高い生産性でウェハファブの歩留まり向上に寄与いたします。

レーザーテックは、EUVマスク検査装置のリーディングカンパニーとして、今後も技術革新を通じて半導体製造の発展に貢献してまいります。