レーザーテックは、高速自動欠陥検査機能、欠陥マッピング機能、高倍率形状レビュー機能を統合した新型コンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置OPTELICS AI²を製品化しました。

半導体デバイス市場ではパワーデバイス、5G、HPC等、さまざまな分野で需要増大が続いており、半導体デバイス製造工程では継続的な製品開発による性能向上が求められております。新設計、新素材を活用したデバイスの商品化には、試作品の評価、量産時の品質管理、歩留まり向上に向けたプロセス改善等、部門をまたいで多数の課題を解決する必要があります。

「AI²」は自動欠陥検査から欠陥レビュー、3次元形状測定まで一台で対応可能であり、開発から生産に至るまであらゆる場面で活躍いたします。
本装置では当社のコア技術であるコンフォーカル光学系および半導体検査装置の開発で培った自動検査ソフト、さらに新設計の高速動作可能なハードウェアを統合することで、ハイスループットの高速検査機能と、コンフォーカル顕微鏡による高倍率形状測定機能を両立しております。また、Deep Learningを用いたAI検査技術により、高精度な画像分類や、パターン付き基板検査、特定種の欠陥抽出といった高度な検査機能をご提供いたします。

当社では今後も、お客さまのご要望にお応えし、各種開発の促進と生産性の向上に貢献してまいります。