当社のマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置MAGICSシリーズは、長年にわたりお客さまより高い評価と信頼をいただき、業界標準機としてマスクブランクスメーカーでの出荷検査およびマスクショップでの受入検査やプロセス管理で活用されてきました。近年、プロセスの微細化に伴う新構造の適用など、EUVマスクには継続的な技術革新が推進されており、これに対応するため、マスクブランクス検査にもさらなる高性能・高機能化が必要とされています。

こうした次世代に向けたニーズに対応すべく、当社はEUV用マスクブランクスと、サブストレート^※2の欠陥検査に対して高い検出感度を実現した最新鋭機M9750/51を開発いたしました。

M9750/51はMAGICSの基幹技術をベースとし、検査光学系を刷新するとともに、当社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用することで、微小欠陥の欠陥検出感度が大幅に向上しています。また、EUVマスク製造時の欠陥ミチゲーションを行うために、高精度X-Yステージを搭載し欠陥座標精度も大きく改善しています。

本装置はすでに多くの引き合いをいただいており、複数台の納入が決定しております。レーザーテックは、これからも次世代高品質マスクブランクスの出荷品質の向上およびマスクショップでのマスクブランクス受け入れ検査やマスク製造プロセス管理の改善に貢献してまいります。