ロジック、アナログ、ディスクリート、パワーデバイスなど多様なアプリケーションにおいて、>250nm～90nmクラスのデザインノードは依然として幅広く活用されており、マスク検査には高感度・短時間・低運用コスト（CoO）が求められています。

このようなニーズに対応すべく、MATRICSシリーズで培った光学系・画像処理・ユーザーインターフェース技術を基盤にMATRICS X712シリーズを開発しました。266nmレーザーと専用アルゴリズムにより、DDB^※1/DD^※2/SD^※3の最大3モードを用途に応じて組み合わせることで、効率的な検査を実現するとともに、最短22分/マスクの高速検査を可能にしました。

本装置は5/6/7インチマスクに対応し、Cr・MoSi・OMOGなど主要材料をサポートしています。また、MEBES・OASISなどのDBフォーマットにも対応し、既存のデータフローとの親和性を確保しました。さらに、オートキャリブレーションや直感的なレシピユーザーインターフェース、複数装置のレシピ・検査結果を集中管理できるストアユニットなどを備え、現場での運用性を高めるソリューションも提供します。

レーザーテックは、今後もお客さまのご要望に応えるソリューション開発を通じて、品質改善と生産性向上に貢献してまいります。