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High NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS A300シリーズ High NAリソグラフィでの転写性欠陥検出にペリクル付きマスクへも対応

ハイエンドマスク検査には MATRICSシリーズ

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置 BASICシリーズ EUVマスク裏面の異物検出・高さ測定・クリーニング機能を1台に統合

高感度内部欠陥検査/レビュー装置 CIRIUSシリーズ

次世代プロセスの先端ニーズに対応したウェハ欠陥検査機

高感度ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズ

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108

GaN、各種化合物ウェハ欠陥検査/レビュー装置 GALOIS211

レーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID+ 真の使いやすさの追求

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム ECCS B320 Operandoが切り開く解析の未来

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICS M9650/M9651 EUVマスクブランクスとサブストレートの欠陥検査に

世界初 EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 ABICSシリーズE320 次世代EUVマスクブランクス上の微小な位相欠陥の高感度検査と欠陥座標の高精度測定

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