SAQP

【読み方】
えすえーきゅーぴー
【英語名】
Self-Aligned Quadruple Patterning

説明

光リソグラフィの限界を超えた微細なパターンを、4倍の大きなピッチを持つフォトマスクとスペーサを用いたプロセスで製作する技術

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