開口数 / N.A.

Numerical Aperture
開口数(N.A.)は顕微鏡の場合、空間分解能を決める重要なファクターであり、入射ひとみの半径が物点において張る角θの正弦と物体空間の絶対屈折率nに対し次の式で与えられる
N.A. = n × sinθ
n:標本と対物レンズの間の媒質の屈折率
θ:光軸と対物レンズの最も外側に入る光線とがなす角度
共焦点レーザー顕微鏡の特徴である高い平面分解能、浅い焦点深度を実現するためには、このN.A.はできるだけ大きくする必要があり、短焦点距離の対物レンズを用いてθを大きくする
また、液浸法によりnを大きくするといったような方法がある

解像度 / Resolution Resolving Power

光学的に2点間が離れていることを見分けることができる距離を“解像度”、あるいは“分解能”と言い、顕微鏡の分野では特に次の式で表される
R=k × λ / 2NA
λ:光源の波長
N.A:レンズの開口数
係数k:通常の光学顕微鏡では0.61程度とされている

化学気相成長 / CVD

  • Chemical Vapor Deposition
  • 気相での化学反応を用いてウェーハ上に薄膜を成長させる方法

化学増幅型レジスト / CAR

  • Chemical Amplification Resist
  • 紫外光の照射によってレジスト中で光触媒が発生し、露光過程が増幅される高感度レジスト

可視光 / Visible Light

電磁波のうち、人間の目で見える波長のもの(400nm~700nm)

カタディオプトリック / Catadioptiric

レンズの他にミラーを併用した光学系

カラーフィルター / CF

  • Color Filter
  • LCDやCCD等に使用されるR(赤)、G(緑)、B(青)などの色を着色した光学フィルター

貫通電極 / TSV

  • Through Silicon Via
  • シリコンの貫通孔のこと。積層したチップ間の電気接続に利用される

共焦点(コンフォーカル) / Confocal

  • 走査型顕微鏡において、サンプル面をスポット照射し、その反射光を顕微鏡光学系の結像面に置かれたピンホール(またはスリット)を通して検出するのが共焦点光学系
  • サンプル面上での焦点は結像面でも焦点を結び、焦点部分だけを選択して検出することから共焦点と呼ばれる
  • 共焦点光学系では焦点がずれた試料面からの光はピンホール(またはスリット)をほとんど通過しないため、サンプル上の焦点が合った部分だけがクリアーに観察でき、焦点深度の浅い画像になる
  • 共焦点顕微鏡では焦点深度の浅さを利用して、サンプルを焦点方向に移動させながら画像を取り込むことにより、サンプル表面の立体構造を評価することができる
  • レーザーテックの共焦点光学系は、焦点方向分解能が非常に高く、半導体分野における段差計測や、機械加工表面の粗さ計測等に利用されている

クリスタルオリジネーティドパーティクル / COP

  • Crystal Originated Particle
  • CZ法で製造されたシリコンの結晶内に発生する酸化物の析出した欠陥

ケイアールエフ / KrF

  • Krypton Fluoride
  • 露光用光源であるフッ化クリプトンのエキシマレーザー
  • 光源の波長 : 248nm

原子間力顕微鏡 / AFM

原子間力顕微鏡。非常に細い針先と試料面とに働く原子間力を利用して、試料表面の微細な凹凸を測定するのに使われる

現像 / Development

感光性レジストを露光した後に不要な部分を除去し、必要な部分を残す工程

コーター / Coater

ガラス基板やシリコンなどのウェハにレジストを均一に塗布するための半導体製造装置