焦点深度

【読み方】
しょうてんしんど
【英語名】
Depth Of Focus(DOF)

説明

顕微鏡で試料表面を観察した時、鮮明な画像が得られる光軸方向の範囲。共焦点(コンフォーカル)顕微鏡の焦点深度は、開口数0.95の時に約0.3umと浅くなる特徴がある。共焦点(コンフォーカル)顕微鏡は、この焦点深度の浅さを利用して高精度な深さ(または高さ)方向の測定を実現している

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