説明

位相シフトマスクの一種。フォトマスクの遮光膜を半透明にして、位相差の効果を得るタイプの位相シフトマスク。一般的に遮光膜としてMoSi（モリブデン・シリサイド）が使用されるが、クロムやシリコンの酸、窒化膜を使用するタイプもある