マイクロマシン（メムス）

【読み方】: まいくろましん

【英語名】: Micro Electro Mechanical Systems（MEMS）

説明

センサー、アクチュエータ、電子回路などの機械要素部品をシリコン基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイス

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