マスク洗浄

【読み方】
ますくせんじょう
【英語名】
Mask cleaning

説明

微細加工プロセスなどのマスク製造工程後にマスク表面に付着する何らかの汚れ(微小な粒子や分子レベルの汚染物質)を洗浄すること。またHazeを除去するために行われる

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