ラインワイズラフネス

【読み方】
らいんわいずらふねす
【英語名】
Line Width Roughness(LWR)

説明

レジストの線幅が凸凹にずれる現象。LERと密接に関連しているが、例えばゲートなどの場合は、トランジスタ性能に大きく影響する

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