説明

主にステッパーで使用するフォトマスクをレチクルという。原版を意味するレチクルと呼ばれる背景としては、縮小投影露光を行うステッパーが出現する以前、レチクルはウェハ露光には直接用いず、レチクルからマスクを作成し、そのマスクでウェハ露光していたからである