位相シフト干渉測定

【読み方】
いそうしふとかんしょうそくてい
【英語名】
Phase shift interferometry

説明

単色光を使用し、サンプル表面からの反射光と参照面からの反射光との干渉縞を解析することで、高さを測定する測定手法。 Åの高さ分解能がある

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