走査型プローブ顕微鏡

【読み方】
そうさがたぷろーぶけんびきょう
【英語名】
Scanning Probe Microscope(SPM)

説明

微小な針(探針:プローブ)で試料をなぞり、形状や物性を観察する装置。AFM、STMなどがある

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